Analyseurs de gaz pour l’industrie et la recherche

Une gamme complète d’analyseurs de gaz, pour toute application.

• Analyseurs de gaz résiduel, pour la caractérisation de vide, la détection de fuites, les études de dégazage, contrôle de vide de procédé, décomposition thermique
• Analyseurs de gaz de procédé, pour mesure et contrôle de composition des gaz de procédé, et pour la détection et la quantification des contaminations. Le contrôle et la régulation de composition des gaz jusqu’à 1 mBar trouve applications dans les domaines de CVD, PECVD, RIE, LPCVD, MOCVD, métallisation par pulvérisation, gravure à plasma, pulvérisation magnétron réactive.
• Analyseurs à pression atmosphérique, pour le contrôle en temps-réel de composition des gaz sous pression ambiante. Détection de point final des réactions chimique, analyse thermique, analyse des gaz émis, dépôt en phase vapeur (CVD), surveillance de l’environnement, caractérisation des piles à combustible.
• Analyseur des gaz dissous pour mesures des gaz en milieux liquides.
• Options pour analyse jusqu’à 30 Atmosphères (30 Bar), systèmes d’échantillonnage à multiples voies.
• Options pour les systèmes thermogravimétriques permettent de réaliser l’analyse des gaz émis (TG-MS, TGA-MS) avec les instruments existants.
• Systèmes intégrés pour les applications spécialisées : par exemple ; bancs d’essai de perméation à multiples cellules, moniteur de flux pour EJM, analyseurs de désorption, SIMS workbench pour analyse des surfaces, spectromètres LoMASS pour la détection des isotopes d’hydrogène.

Pour tout renseignement, ou pour discuter votre application, n’hésitez pas à nous contacter.